Wirbelstromtechniken werden zur zerstörungsfreien Messung der Dicke von nichtleitenden Schichten auf Nichteisenmetallsubstraten verwendet. Eine Spule aus feinem Draht, die einen hochfrequenten Wechselstrom (über 1 MHz) leitet, wird verwendet, um ein magnetisches Wechselfeld an der Oberfläche der Sonde des Geräts zu erzeugen. Wenn die Sonde in die Nähe einer leitenden Oberfläche gebracht wird, erzeugt das magnetische Wechselfeld Wirbelströme auf der Oberfläche. Die Substrateigenschaften und der Abstand der Sonde vom Substrat (die Schichtdicke) beeinflussen die Stärke der Wirbelströme. Die Wirbelströme erzeugen ihr eigenes, entgegengesetztes elektromagnetisches Feld, das von der Erregerspule oder von einer zweiten, benachbarten Spule erfasst werden kann.